Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上，结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。Touchscreen C 系列干燥仪具有高可靠性、高重复性、操作简便的特点，采用*的专业触屏软件全自动控制，是提高MEMS研发与生产效率的*利器。
Tousimis Touchscreen Series C 系列产品特点：
专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用 大可处理8"晶圆，每次多可处理5个晶圆 标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架 标配样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，节省LCO2用量，缩短干燥时间，提高干燥效率 LCD触控屏 可编程触屏控制界面，全自动控制 多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用 慢速充液功能，适用于各种易损样品 “Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品 高效内部冷却回路，快速降温，节省40%LCO2 内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音 外置两级过滤系统，可过滤LCO2内0.08μm以上杂质 外置吹扫后过滤器，便于仪器维护 非机械式吹扫搅拌技术，免维护 内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性 精确参数控制，确保处理结果重复性 样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态 无尘室防静电兼容设计 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准
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