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蓝宝石系列压力传感器由蓝宝石单晶绝缘体元素组成,刚度强不会发生滞后、疲劳和蠕 变现象;蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性(1000℃以内),对温度变化不敏感,即使在 高温条件下,也有着很好的工作特性。蓝宝石的抗辐射特性*;硅-蓝宝石传感器采用硅 外延技术在蓝宝石膜片上生长一层硅薄膜,然后采用光刻工艺生成硅桥路,采用重度掺杂工 艺生成应变电阻。蓝宝石上生长的硅桥路无 p-N 节从而对辐射不敏感,同时不受结温温度上 限的影响可制作更高温度测产品。采用的重度掺杂工艺可减小硅桥路在高温条件下的 2 次污 染。从而蓝宝石可应于各种复杂的工况、环境场合. 传感器有双膜片结构何但膜片结构组成:双膜片结构产品由钛合金测量膜片和接收膜片 组成。接收膜片是在钛合金膜片上高温熔焊的蓝宝石膜片,测量膜片与接收膜片之间采用金 属硬连杆连接,用熔焊或激光焊连接在一起。被测压力传送到接收膜片上。在压力的作用下, 钛合金接收膜片产生形变,该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后,其电桥输出会发生变化, 变化的幅度与被测压力成正比。电桥电路将电桥的失衡信号,转换为电压信号输出。
◆ 温度测量范围宽
◆ 温度误差极小
◆ 高精度,高稳定性
◆ 重量轻,性价比高