详细介绍

热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR

热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。

由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。

该方法符合标准：
JIS R 1689：通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。

技术参数	NanoTR	PicoTR
温度范围	RT，RT … 300°C（选件）	RT，RT … 500°C（选件）
真空度	N/A	10^-6 mbar（选件）
测量模式	RF/FF	RF/FF
样品尺寸	10x10 ... 20x20 mm	10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度	RF：金属：1 ... 20µm 陶瓷：300nm ... 5µm 聚合物：30nm ... 2µm FF：> 1µm	RF：金属：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm
基片厚度	< 1mm	< 1mm
热扩散温升时间	10ns ... 10µs	10ps ... 10ns
热扩散系数	0.01…1000 mm²/s	0.01…1000 mm²/s
测量精度	5%(RF), 10%(FF)	5%(RF), 10%(FF)
操作系统	Windows 7	Windows 7