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面议德国SURAGUS EddyCus® TF map 2525 系列 – 非接触式薄层电阻、金属层厚度、电阻率和电各向异性映射设备,台式设备允许根据其设置对薄层电阻、金属厚度或光学透明度进行准确成像。
德国SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄层电阻测量仪产品简介:
EddyCus®TF映射2525个 系列高达样本自动图像特征,以非接触模式250×250平方毫米(10×10英寸)。
在手动样品定位时,设备会自动测量并显示整个样品区域的特性分布。
测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或每个样本超过 50,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。
由此产生的映射提供了对透明和非透明层或晶片和金属板的均匀性和质量的真实洞察。
台式设备允许根据其设置对薄层电阻、金属厚度或光学透明度进行准确成像。
德国SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄层电阻测量仪可选型号:
该设备平台可用于不同的传感器配置,包括用于电气表征的涡流传感器或用于光学表征的传感器。测量配置的变体涉及以下选项。
. 薄层电阻成像 – TF 图 2525SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
. 金属厚度成像 - TF map 2525MT [nm, µm, mm, mil]
. 电阻率和电导率成像 – TF 图 2525RM [mOhm*cm, MS/m]
. 电各向异性成像 – TF 图 2525a [MD/TD]
. 湿涂层厚度和残留水分成像 - TF map 2525HF
德国SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄层电阻测量仪产品特点:
技术:非接触涡流
通过多点映射成像
薄层均匀度控制
质量控制、输入和输出控制
定位区域:300 mm x 270 mm
取样面积:250 x 250 mm(可扩展至280 x 280 mm)
推荐的样品尺寸:1 英寸至 10 英寸或 25 至 250 毫米
测量:
薄层电阻:0.001 到 100 Ohm/sq(Ohm per square, Ohm/sq, OPS)
金属层厚度:1 nm 至 2 mm(nm、µm、mm、mil)
各向异性:0.33 至 3 (MT/TD)
电阻率/电导率:(mOhm*cm, MS/m, %IACS)
非接触
快速准确的测量
导电薄膜的高分辨率映射
对zui大 250 x 250 毫米(10 x 10 英寸)的基板进行成像
缺陷检测和涂层分析
甚至隐藏和封装的导电层的表征
各种软件集成分析功能(例如薄层电阻分布、线扫描、单点分析)
测量数据保存和导出功能;
德国SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄层电阻测量仪软件和设备控制:
. 轻松设置测量
. 实时数据收集和分析
. 扫描和自动点测量模式,包括。测量近边缘
. 众多软件集成分析功能(直方图分析、标准偏差、线条轮廓、面积分析等)
. 用于系统文档的用户友好 PDF 报告(示例报告)
. 数据导出(如txt)
. 加载和重新分析数据集;