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德国SURAGUS EddyCus® TF map 5050 系列 – 非接触式薄层电阻、金属层厚度、电阻率和各向异性成像设备，用于zui大 500 x 500 毫米(20 x 20 英寸)的采样区域。

德国SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄层电阻测量仪产品简介：

EddyCus®TF地图5050系列是高分辨率非接触式成像设备系列，用于zui大 500 x 500 毫米(20 x 20 英寸)的采样区域。

台式设备可在各个测量点自动测量，通常 X 和 Y 方向的间距为 1 毫米(40 密耳)，以生成准确的映射。

该系统每秒可动态获取数百个测量值，从而生成每个样本包含多达 250,000 个测量点的高分辨率图像。

台式设备允许根据其设置对金属厚度、薄层电阻或电各向异性进行准确成像。

由此产生的特性图像提供了对层均匀性和缺陷密度的深刻洞察，因此为材料和工艺优化提供了深刻的基础。应用涉及溅射、蒸发、ALD、CVD。

德国SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄层电阻测量仪类型：

设备提供不同的传感器配置，使用光学元件的涡流传感器。

. 薄层电阻成像 – EddyCus® TF map 5050SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]

. 金属厚度成像 – EddyCus® TF map 5050MT [nm, µm, mm, mil]

. 电阻率和电导率成像 – EddyCus® TF 图 5050RM [mOhm cm, MS/m]

. 电(非)各向同性成像 – EddyCus® TF map 5050A

德国SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄层电阻测量仪产品特点：

. 非接触式成像

. 快速准确

. 具有 1 毫米间距(或者 0.25 至 10 毫米)的高分辨率成像

. 采样区域为 500 x 500 毫米(20 x 20 英寸)

. *的层均匀性分析和缺陷检查

. 隐藏和封装导电层的表征

. 强大的软件集成分析功能(线条轮廓、直方图分析、选择区域分析、统计)

. 混合系统(例如组合电子和光学成像)

. 系统的质量控制，进货检验，出货检验

. 技术：非接触式涡流传感器

. 取样面积：500 x 500 mm

. 推荐的样品尺寸：1 到 20 英寸/25 毫米到 500 毫米

. 测量：

薄层电阻范围：0.1 mOhm/sq 到 10,000 Ohm/sq

金属层厚度：1 nm 至 2 mm(其他应要求提供)

电各向异性：0.3 – 3

. 流程评估

沉积(溅射、蒸发、ALD、CVD、电镀、印刷、铸造等)

掺杂和退火

烧蚀(蚀刻、抛光、激光、EDM 等)

德国SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄层电阻测量仪软件和设备控制：

. 易于使用的设置

扫描尺寸选择

测量间距选择

开始测量

. 实时数据聚合

. 接近边缘的测量

自动扫描或手动测量

. 易于使用的统计分析选项

选择性图像分析

线型分析

直方图分析

统计数据(zui小值、zui大值、平均值、方差)

. 出口

使用不同的配色方案导出图像

PDF 报告(示例报告)

数据导出为txt以导入excel或origin

. 数据存储、数据加载和重新分析;

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