德国SURAGUS EddyCus® TF inline - 用于过程控制的非接触式薄层电阻、层厚度和电各向异性测量解决方案，直列串联措施层性能，如金属层的厚度，片电阻，发射率，残留水分或克在各种基材上的非接触。

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪产品简介：

EddyCus TF直列串联措施层性能，如金属层的厚度，片电阻，发射率，残留水分或克在各种基材上的非接触。

相关基材是玻璃、箔、纸、晶片、塑料或陶瓷。

监测是通过测量或触发事件来完成的，以便在快速移动的涂层过程中获得等距的结果。

监测解决方案可以在大气或真空条件下实施。使用涡流技术的过程受益于高采样率。

可以使用客户的软件为过程控制系统提供测量结果。

此外 SURAGUS 还提供监控软件 EddyCus EC Control，可对计量数据进行可视化、存储和分析。

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪传感器类型：

. EddyCus TF inline SR – 薄层电阻监测(包括发射率)

. EddyCus TF inline MT – 金属厚度监测

. EddyCus TF inline RM – 电阻率和电导率监测

. EddyCus TF inline HF – 残留水分监测

. EddyCus TF inline A – 薄层电阻和电各向异性监测；

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪产品特点：

. 非接触式实时测量

. 测量速度高达 1,000 次测量/秒。

. 固定式传感器安装或横向传感器安装

. 每个系统集成 1 – 99 个监控通道

. 在大气或真空中进行过程控制

. 在许多应用中可以非常靠近基板边缘进行测量

. 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定性

. 到测试材料的大距离(例如 60 毫米/2.4 英寸的间隙)

. 覆盖导电层或封装基板的表征

. 众多软件集成分析统计功能

. 通过 EddyCus RampUp 软件轻松设置，包括。系统校准向导

. 无磨损

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪产品应用：

. 建筑玻璃(LowE)

. 包装材料

. 显示器和触摸屏

. 光伏(薄膜和 c-Si)

. 镜面镀膜

. 电容器

. OLED 和 LED

. 智能玻璃

. 金属层和晶圆金属化

. 除冰和加热

. 电池和燃料电池

. 涂布纸和导电纺织品

. 石墨烯层

. 抗菌涂料;