一、产品概述：

TXY970质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。TXY970采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，TXY970也同样适用。

二、使用范围：

它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

三、产品特点：

●直接热式原理，无层流元件
●无压损,抗结晶,抗腐蚀 
●适用于各种低压和高压管道
●精确测量和控制气体的质量流量
●预热时间短,零漂小，可靠性高
●多种气体可选,也可自行输入