智测电子-TC-Wafer晶圆温度传感器、热电偶晶圆测温系统

      TC-Wafer晶圆温度传感器是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度，以及晶圆整体的温度分布，同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据，从而了解半导体设备的温度均匀度。

智测电子的高精度晶圆热电偶温度传感器是半导体制造厂 Fab、PVD/CVD 部门、RTP 部门等行业用户的***。

作为一家专业的传感器生产厂家，智测电子不仅拥有全套传感器生产、加工与检测设备，还能为用户提供定制化的解决方案。

其产品优势在于软件功能优异，能够实现高精度多通道数据采集、数据统计、趋势绘图和数据导出等功能。智测电子生产研发的TC-Wafer晶圆温度传感器，其温度范围广泛，智测电子的产品设计考虑到了用户的实际需求，传感器引线可定制，且采用了硅基胶粘剂和焊接技术，使其具有更好的性能和可靠性。

总之，智测电子的高精度温度传感器不仅在技术上具备优势，而且在服务方面也能够为用户提供专业的解决方案。无论是在半导体装备、航空航天、智能制造、高校实验室、计**所、生物技术等行业，智测电子都能够为用户提供高品质的产品和服务，满足用户对高精度测温的需求。

TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。

智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。

智测电子-TC-Wafer晶圆温度传感器、热电偶晶圆测温系统