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质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点，其操作使用方面，可任意位置安装，并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产片配套使用，控制器与显示仪之间用专用电缆连接。
项目/型号 | D07-11B | D07-11BM |
流量规格 | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM |
准确度 | ±1%F.S | ±1.5%F.S |
线性 | ±（0.5~1）%F.S | ±（0.5~1.5）%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S | ±0.2%F.S |
响应时间 | 电特性：10sce | 10sce |
工作压差范围 | （0.2~0.8）MPa | 气压降＜0.01MPa |
耐压 | 10MPa | 10MPa |
工作环境温度 | 5℃~45℃ | 5℃~45℃ |
输入输出信号 | 0V~+5.00V | 0V~+5.00V |
电源 | +15V 50mA | +15V 50mA |
重量 | 1.1Kg | 0.92Kg |
