仪器介绍

CMI900荧光X射线镀层测厚仪，有着非破坏，非接触，快速无损测量，多层合金测量，高生产力，高再现性等优点的情况下进行表面镀层厚度的测量，从质量管理到成本节约有着广泛的应用。

适用范围

用于电子元器件，半导体，PCB，FPC，LED支架，汽车零部件，功能性电镀，装饰件，连接器，端子，卫浴洁具，首饰饰品……多个行业表面镀层厚度的测量；

测量镀层，金属涂层，薄膜的厚度或液体（镀液的成分分析）组成。

主要特点

测量范围宽，可检测元素范围：Ti22–U92；

可同时测定5层/15种元素/共存元素较正；

精度高、稳定性好；

强大的数据统计、处理功能；

NIST认证的标准片；

服务及支持。

参数介绍：

1.X射线激发系统

垂直下照式X射线光学系统

空冷式微聚焦型X射线管，Be窗

标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)

装备有安全防射线光闸

二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选

2.准直器系统

单准直器组件、多准直器自动控制

组件：最多可同时装配6种规格的准直器

多种规格尺寸准直器任选：

－圆形，如4、6、 8、 12、13、20 mil等

即0.102、0.152、0.203、0.305、0.330、0.508mm

－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16mil等

即0.025*0.05、0.05*0.05、0.013*0.254、0.025*0.254、0.051*0.254、0.102*0.406mm

测量斑点尺寸在12.7mm聚焦距离时，最小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>准直器)在12.7mm聚焦距离时，测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圆形12mil>准直器)

3.样品室

开槽式样品室样品台尺寸610mm x 610mmXY轴移动范围标准：152.4 x 177.8mm<程控> Z轴程控移动高度43.18mmXYZ轴控制方式多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制；XY轴手动控制和Z轴程序控制；XYZ三轴手动控制

4.样品观察系统

高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。激光自动对焦功能可变焦距控制功能和固定焦距控制功能计算机系统配置IBM计算机

惠普或爱普生彩色喷墨打印机分析应用软件操作系统：Windows XP中文平台分析软件包：SmartLink FP软件包

5.测厚范围

可测定厚度范围：取决于您的具体应用。

基本分析功能采用基本参数法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品；

样品种类：镀层；可检测元素范围：Ti22 – U92；可同时测定5层/15种元素/共存元素校正；贵金属检测，如Au karat评价；材料和合金元素分析；材料鉴别和分类检测；

多达4个样品的光谱同时显示和比较；元素光谱定性分析。调整和校正功能

系统自动调整和校正功能，自动消除系统漂移测量自动化功能鼠标激活测量模式：“Point and Shoot”多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、重复测量模式

测量位置预览功能激光对焦和自动对焦功能样品台程控功能设定测量点连续多点测量

测量位置预览(图表显示)统计计算功能平均值、标准偏差、相对标准偏差、值、最小值、数据变动范围、数据编号、CP、CPK、控制上限图、控制下限图任选软件：统计报告编辑器允许用户自定义多媒体报告书，数据分组、X-bar/R图表、直方图数据库存储功能，

系统安全监测功能，Z轴保护传感器，样品室门开闭传感器