微型部件与薄膜毛细管镀层测厚仪

使用新开发的X射线聚光用多毛细管的产品阵容诞生了。另外，以X射线检测结构为中心，对各类元件进行优化，从而大幅提高了检测灵敏度，在不损失检测精度的前提下实现了的高处理能力。

并且，对设备进行了重新设计，使得样本室的使用，以及对检测点的检查变得更为容易。 

X射线荧光镀层厚度测量仪 FT150系列 特长

1．显微领域的高精度检测

通过采用新开发的多毛细管，以及对探测器的优化，在实现照射半径等同于旧有型号FT9500X为30 μm（设想FWHM： 17 μm）的基础上，进一步将处理能力提高到了2倍以上。

2．兼顾易操作性与安全性

放大了开口，同时样本室的门也可单手轻松开闭。从而提高了取出、放入检测样本的操作简便性，并且该密封结构也大大减少了X射线泄漏的风险，让用户放心使用。

3．产品阵容适应各类检测样本

针对检测样本的不同种类，可在下列3种型号中进行选择。

测量引线架、连接器等各类电子元器件的微型部件、超薄薄膜的型号

能够处理尺寸为600 mm×600 mm的大型印刷电路板的大型印刷电路板用型号

适合对陶瓷芯片电极部分中，过去难以同时测量的Sn/Ni两层进行高能测量的型号

4．清晰的样本图像

使用了分辨率比以往更高的样本观察摄像头，采用全数码变焦，从而消除位置偏差，可以清晰地观察数十μm的微小样本。

另外，亦采用LED作为样本观察灯，无需像以往的机型那样对灯泡进行更换。

5．检测部位可见

通过设置大型观察窗、修改部件布局，使得样本室门在关闭状态下亦可方便地观察检测部位。

X射线荧光镀层厚度测量仪 FT150系列 规格

型号 FT150

测量元素 原子序数13（Al）～92（U）

X射线源 管电压：45 kV

靶材 Mo靶 W靶

检测器 Si半导体检测器（SDD）（无需液氮）

X射线聚光 聚光导管方式

样品观察 CCD摄像头（100万像素）

对焦 激光对焦、自动对焦

大样品尺寸 400(W) × 300(D) × 100(H) mm

工作台行程 400(W) × 300(D) mm

操作系统 电脑、22英寸液晶显示屏

测量软件 薄膜FP法（多5层膜、10元素）、检量线法、定性分析

数据处理 Microsoft Excel、Microsoft Word 安装

安全功能 样品门联锁

消耗电量 300 VA以下

选购项

能谱匹配软件（材料辨别）

块体FP（测量金属成分比）

样品操作限制设置

晶圆治具（FT150／FT150h）

触摸板

信号灯

打印机

紧急停止开关箱

微型部件与薄膜毛细管镀层测厚仪