利用成比例流量控制功能完成换流
在多向气体质量流量控制器中,可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。
- 多功能。将单个气源用于两个独立的过程系统或者在单个过程系统中实现两个独立气源的切换。切换气源时,选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCT系列换流型气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
- Specs
- 定制
- 零件编号
- Applications
性能
- 可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
工作条件
- 兼容气体:98种(MCT系列)或130种(MCTS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
- 工作温度:-10°C至+60°C
- 大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
- STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
包装清单
- MCT系列换流型气体质量流量控制器(电源需另行订购)
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
配件(需另行订购)
- 过程端口接头和过滤器
- 电源
- 通讯线缆和转换线缆
- BB3和BB9多点式集线盒
- Flow Vision软件