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干式螺杆泵 HeptaDry 系列
面议伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1800
面议伯东 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M
面议磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300 M
面议磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M
面议磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 800 M
面议涡轮分子泵 HiPace 10
面议涡轮分子泵 HiPace 30
面议涡轮分子泵 HiPace 60P
面议涡轮分子泵 HiPace 80
面议涡轮分子泵 HiPace 300
面议Turbopumps 涡轮分子泵 HiPace 400
面议
1. 前级泵可选干式隔膜泵 MVP系列和旋片真空泵 DuoLine 系列
2. 操作简易, 即插即用
3. 多种搭配方案满足客户需求
4. 意外断电时, 前级真空安全阀(可选.)可保护真空腔体免受返流影响
5. 可以直接连接真空计
分子泵组 HiCube Classic 是一个立式紧凑型涡轮分子泵组, 非常适合中小型体积腔体的应用
结合涡轮分子泵 HiPace 300 H 或 HiPace 700 H 和前级泵, 可以实现 <10-10 hPa 的极限真空.