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CTI On-board 低温泵技术参数:
On-Board 低温泵型号 | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
抽速 (L/S) | ||||||||
水汽 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
空气 | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 |
| 2,200 | 6,000 | 10,000 |
氢 | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 |
| 3,200 | 12,000 | 12,000 |
氩 | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 |
| 1,800 | 5,000 | 8,400 |
容量(标准升) | ||||||||
氩 | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 |
| 1,000 | 2,500 | 6,000 |
氢 (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
常规再生时间(冷态至冷态) | ||||||||
级和第二级 | 75 分钟 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | <3.3 小时 | 3 小时 | <3.8 小时 |
第二级 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1.5 小时 | <1.5 小时 |
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