CTI On-board 低温泵

CTI On-board 低温泵

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具体成交价以合同协议为准
2022-04-26 14:17:57
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伯东企业(上海)有限公司

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产品简介

CTI-Cryogencis On-Board 低温真空泵加速集成和改进的系统操作在可靠性和性能方面已达到世界标准. On-Board 低温泵配有完整的集成控制和外围附件支持, 提供了更长的运行时间, 以提高工具的整体生产效率, 从而增加了整体设备的产能和持续性能.CTI-Cryogencis On-Board 低温泵主要特性:1. 快速 Regen 功能, 可在再生间......

详细介绍

CTI On-board 低温泵 技术参数:

CTI On-board 低温泵技术参数:

On-Board 低温泵型号

4F

8

8F

10

10F

250F

400

500

抽速 (L/S)

水汽

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

6,500

17,500

30,000

空气

370

1,500

1,500

3,000

2,200

6,000

10,000

370

2,500

2,200

5,000

3,200

12,000

12,000

310

1,200

1,200

2,500

1,800

5,000

8,400

容量(标准升)

210

1,000

1,000

2,000

1,000

2,500

6,000

氢 (5x10-6 Torr)

3

17

12

24

24

16

42

45

常规再生时间(冷态至冷态)

级和第二级

75 分钟

2.5 小时

2.5 小时

2.5 小时

2.5 小时

<3.3 小时

3 小时

<3.8 小时

第二级

<1 小时

<1 小时

<1 小时

<1 小时

<1 小时

<1.5 小时

<1.5 小时

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