Pfeiffer 质谱分析仪 SPM 220

Pfeiffer 质谱分析仪 SPM 220

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-25 16:11:21
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伯东企业(上海)有限公司

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产品简介

上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

详细介绍

Pfeiffer 质谱分析仪 SPM 220 产品优势:

1.用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源

2.用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限

3.对测量结果的最小化背景影响

4.提供压力高达 10 hPa 的压差型号

5.多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估

6.灵活集成的紧凑尺寸

7.通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

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