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面议| 型号 | PR500 | PR510 | |
| 模式 | DP模式，桶型 | ||
| 控制部 | 高频输出功率 | Max500W | |
| 频率 | 13.56MHz | ||
| 同调方式 | 自动协调 | ||
| 反应部 | 反应腔 | 石英 Φ215×305mm | |
| 反应气体 | 2系统（O2／CF4） | ||
| 控制 | 手动 | 触摸屏自动控制 | |
| 配管材质 | 不锈钢、特氟龙 | ||
| 外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 参照规格书 | |
| 重量 | 约60kg | 参照规格书 | |
| 电源 | 单相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
