型号

DT2B

流量范围

0--5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM (小通道)
0--1/2/3/5/10/20/30 SLM (小通道)
20/30/50/100/150/200/250 SLM (大通道)

工作压差范围

≤10SLM 0.10～0.50 Mpa (小通道)
20、30SLM 0.10～0.30 Mpa (小通道)
20、30SLM 0.05～0.30 Mpa (大通道)
50、100、150SLM 0.10～0.30 Mpa (大通道)
200、250SLM 0.15～0.30 Mpa (大通道)

耐压

3 MPa

工作环境温度

5℃～45℃

响应时间

≤0.3 sec

阀门开启/关闭电压

阀门开启电压：<9V DC；阀门全开电压：>12V DC

漏气率

单点＜1x10^-8 SCCS He

工作电源

0～15V DC ≤3.5W

出入口接头

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、3/8″、Φ10、1/2″标准双卡套接头和VCR 1/4″阳接头。

金属材料

316L

型号

DJ2B

流通量

50SLM(小通道)

工作压差范围 

50SLM 0.05～0.50 MPa (小通道)150/300   SLM 0.25～0.50 MPa (大通道)

耐压

1 MPa (小通道)3 MPa (大通道)

工作环境温度

5℃～45℃

漏气率 

单点＜1×10-8 atm·cc/sec He

工作电源 

0～24V DC  ≤5W

出入口接头

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、3/8″、Φ10、Φ12、1/2″标准双卡套接头，VCR 1/4″阴接头、VCR 1/4″阳接头和VCR 1/2″阳接头

金属材料 

316L