高精度动态配气系统

MR系列高精度动态配气系统是实现动态气体配气的设备。气体配气部分采用进口高精度质量流量控制器控制多路气体输出不同比例的流量，从而动态的实现各种气体浓度的配置。该仪器可用于气体分析仪的线性、准确度、重复性等多种技术指标的测试，是检定、维护和维修气体分析仪器的测试工具以及固定浓度气体的发生装置。适用于工厂、科研、实验室等单位使用的气体分析仪校准、测试用标准气样品的制备等。

1.1 功能特点

支持进行气体混合配气；

流量控制采用闭环模糊控制技术，响应速度快，流量控制准确；

零气压力和钢瓶气压力可实时监测，保证供气压力满足仪器要求；

大屏幕液晶、中文显示，操作简单方便；

多路标气输入接口，免除更换多种钢瓶气的繁琐工作；

1.2 主要参数

流量准确度：±1%F.S；

流量线性度：±0.5%F.S；

流量重复精度：±0.2%F.S；

稀释气体流量范围：0～5SLM；0～20SCCM； 0～100SCCM 可选

稀释比：200：1；

配比：1000:1；

输入压力：100kPa～500kPa；

使用环境温度：5℃～45℃，相对湿度：<80%RH；

设备耐压：<1Mpa；

工作压差范围：0.05MPa～0.3MPa；

工作电源：AC220，50±0.5Hz。

使用气体：

、光气等原料气体浓度应小于1000ppm.

一、 发生装置组成

MR-DF2由气体配量装置，嵌入式WINCE系统以及其他辅助件组成（见附件一）。

2.1 气体配量装置

MR-DF2负责气体配量功能。它主要由：质量流量计，电磁两通阀，电磁三通阀、混气室、排空阀等部件组成。