科研级飞秒激光微加工平台FemtoLAB-上海屹持光电技术有限公司手机版

详细介绍

科研级飞秒激光微加工平台FemtoLAB

用于激光微加工的一体化研发平台

FemtoLAB是一款飞秒激光微加工工作站。对于需要为各种任务定制解决方案的科学实验室和研发中心来说，这是一个完·美的选择。FemtoLAB激光工作站提供亚微米分辨率的组合激光微加工工艺，可以执行各种应用。我们的技术能力和应用经验可以优化FemtoLAB工作站，为用户节省宝贵的实验时间，并对用户进行全面培训。

主要应用：

表面和体积微纳结构
飞秒激光消融术（FSLA）
激光开槽
多光子聚合（MPP） |直接激光写入（DLW）
激光切割和钻孔
独·特的是，该系统不仅与平面样品兼容，还支持光纤加工。

FemtoLAB主要特点：

以亚微米分辨率制造复杂物体
高速超高精度微加工
高效的光束传输和功率控制
高·端工业级飞秒激光器
高性能振镜扫描仪
物体运动和激光脉冲在时间和空间上的同步
独·特的软件界面控制所有硬件单元

科研级飞秒激光微加工平台FemtoLAB完整设备，含飞秒飞秒激光器

技术规格：

参数	规格
推荐材料	所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。
激光	高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光器
光路选择	自动化
样本尺寸	兼容高达 160 mm x 160 mm 的设计
最小特征尺寸	200nm
定位系统	XYZ 机械轴，定位精度 +- 0.3 μm，具有连续晶圆级图案化
扫描系统	适用于所有激光波长的振镜系统
视觉	具有特征识别功能的实时可视化和定位相机
度量衡学	集成显微镜
样品处理	手动自动对准
夹持样品架	用于扁平结构（基于真空抽吸）的样品架，带有用于光纤的附加支架
排烟系统	包括
附件	功率控制、偏振状态控制
软件	通过单个 GUI 实现整个系统控制。
支持的文件格式	– 2D/3D 模型导入：STL、DXF、DWG、AMF、PLT、FAB
	– 位图支持：BMP、GIF、JPG、JPEG、PNG
	– 文本文件作为表格数组：TXT、RTF、TEX
平台	花岗岩底座，带被动隔振功能，内置在光学工作台上（可选独立设计）
结构组成	水冷激光器、风冷系统、电气柜
尺寸，mm （长 x 宽 x 高）	约1500 x 1350 x 1400 含泡沫塑料支架
重量	1100 kg
电源	2 个 220 VAC，16 A