• 可以进行非接触式，非破坏性的厚度测量
• 折反射系统（可以从一侧接触进行测量）
• 高速（*高速度5kHz）和实时评估成为可能
• 实现高稳定性（重复精度不超过0.01％）
• 抗粗糙性强
• 可以应付任何距离
• 支持多层结构（*多5层）
• 内置NG数据排除功能
• 可以进行距离（形状）测量（内置传感器随附的选件） ^*

*通过在测量范围内的光学距离测量

实现高波长分辨率，同时支持广泛的膜厚度。
大冢电子的技术封装在紧凑的机身中。

它
也是工厂生产线的理想选择，因为它可以**的间距测量运动的物体。

约有φ20μm的微小斑点，
可以在各种表面条件下测量样品的厚度。

由于可以从*远200 mm的距离进行测量，因此
可以根据目的和应用构建测量环境。

• 厚度测量（5层）

• 各种厚膜构件的厚度