光谱椭偏仪FE-5000 / 5000S-塔玛萨崎电子（苏州）有限公司手机版

产品简介

简单介绍：除了可以进行高精度薄膜分析的椭圆偏振光谱仪之外，我们还通过实现自动可变测量机制来支持所有类型的薄膜。除了常规的旋转光子检测器方法之外，通过为延迟板提供自动连接/分离机制，还提高了测量精度。

详细介绍

详情介绍：

特殊长度

测量项目

测量目标

半导体晶片
栅极氧化物薄膜，氮化物膜
SiO ₂，Si x O y，SiN，SiON，SiN x，Al ₂ O ₃，SiN _x O _y，多晶硅，ZnSe，BPSG，TiN的
光学常数（波长色散）抵抗
化合物半导体
Al _x Ga _（1-x）作为多层膜，非晶硅
FPD
取向膜
各种新材料
DLC（类金刚石），超导薄膜，磁头薄膜
光学薄膜
TiO ₂，SiO ₂，减反射膜
在每个波长下的光刻场n，k评估，例如g线（436 nm），h线（405 nm），i线（365 nm）