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真空等离子清洗机
型号:SGR-1300
品牌:GRM
产品简述
1、等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
(A)控制单元
控制单元液晶触摸屏控制方式。 而控制单元又分为两个大的部分:
1)电源部分:主要电源频率是13.56MHz、13.56MHz 是需要电源匹配器的
2)系统控制单元是液晶触摸屏控制
(B)真空腔体
真空腔体材质:高强度铝合金腔体
(C)真空泵
产品特点
处理温度低:
处理温度可以低至50°C以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。
处理全程无污染
等离子清洗机本身是很环保的设备,无产生任何污染,处理过程也无产生任何污染。可以搭配原有生产流水线,实现全自动在线生产,节约人力成本。
处理效果稳定:
等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
可以处理各种形状的样品:
对于复杂形状的样品等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
性能优势
德国电路技术:
采用德国高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果
全面安全防护:
温度过高,过载,气压失常,短路断路,误操作,等全面的报警保护功能。
级密封腔体:
级的高真空度密封腔体材质及制造工艺
灵活的气体配方选择:
可选择两路、三路、四路气体配方方案,满足不同工艺要求。
优质产品部件:
全部部件采用国内外优质部件,运行稳定寿命更长
低温清洗:
满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。
环保简易:
极低的运行成本,操作简单,过程无化学污染物排放,符合环保规范
等离子清洗的作用
等离子清洗的作用原理主要是:
(A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用 等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
(B)激活键能,交联作用
等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基不这些键 形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能团--化学作用 如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会収生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。
参数指标
整机规格 | 约1150×1350×1850(长×宽×高)mm |
整机重量 | 约400 Kg |
铝合金清洗腔体规格 | 780×400×475(长×宽×高)mm |
铝合金清洗腔体有效积 | 130L |
输入电源 | 380V(三相)/50 Hz |
整机输入功率(含真空泵) | 2500 W |
射频输出(连续可调) | 0~600 W,配置真空电容自动匹配器,输出方式是恒功率模式,电源本身输出功率是实际功率 |
射频频率 | 13.56 MHz |
清洗时间定时器范围 | 0~99.99 min |
真空泵 | *,双极旋片真空泵,抽速可达60m³/h |
极限真空度 | 工作真空度≦30Pa |
真空度测量及量程 | 1.0×105~1.0×10-1 Pa进口电子真空计 |
气体流量计及量程 | 国内*,量程0-300SCCM |
进气阀 | 全自动电子挡板阀 |
玻璃观察窗 | 观察清洗舱内辉光状态 |
常用工作气体 | 氧气氩气氮气或混合气体可选 |
气路 | *的气路分布结构,确保气体分布均匀 |
PLC | 德国西门子PLC,全自动程序控制 |
触摸屏 | 威纶通触摸屏,人性化界面,极易操作 |
全面安全防护 | 温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种 误操作保护功能 |
电气部件 | 全采用施耐德 |
气压调节部件 | *SMC品牌 |
电极板 | 特殊处理的电极板结构,确保放电均匀,清洗效果 |
腔体: | 级的高真空密封腔体 |
真空等离子清洗机