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紧凑型主动隔振平台STACIS IIIc
STACIS IIIc是STACIS III**主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。
STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。
在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。
STACIS IIIc优势
与常规STACIS III系统相比，隔离器高度**多降低42％，而性能却没有降低。
STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在**状态下运行。
串行设计和专有的高力压电技术
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的**主动隔振性能。
性能
紧凑型主动隔振平台STACIS IIIc 性能规格
规格
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间 （减少10:1） | 0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） 中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） 高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） |
| 刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 从距离隔振器**4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
| 环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
| 主动隔振元件 | **小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
| 被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源） |
| 振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压 |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
| 隔振器尺寸（宽x深x高） | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| 隔振器重量 | 53磅（24千克） |
| 工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | 30 - 60% |
| 系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE标准 |
| 地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
| 可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
