硅芯片检查显微镜

LW300MT硅芯片检查显微镜

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2018-05-15 14:54:13
604
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上海测维光电技术有限公司

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产品简介

LW300MT硅芯片检查显微镜专为微电子行业量身定做,适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;可以方便的快移和精确的位移检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查

详细介绍

LW300MT硅芯片检查显微镜技术参数

规格
 
目  镜:  10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜:  30°倾斜,瞳距:53~75 mm。
物  镜:  无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片)
放大倍数
数值孔径
工作距离(mm)
备注
5X
0.12
9.70
 
10X
0.25
3.73
20X
0.40
7.23
40X
0.60
3.04
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸:210 X 140 mm,移动范围:75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜(带孔径光栏, 数值孔径1.25)。
调焦机构:粗微同轴调焦,粗动手轮松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值2μm/格。
照  明: 上光源(落射照明)12V50W卤素灯,亮度可调。
      下光源(透射照明)12V30W 卤素灯,亮度可调。
  源:输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。
技术参数
目  镜:  10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜:  30°倾斜,瞳距:53~75 mm。
物  镜:  无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片)
放大倍数
数值孔径
工作距离(mm)
备注
5X
0.12
9.70
 
10X
0.25
3.73
20X
0.40
7.23
40X
0.60
3.04
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸:210 X 140 mm,移动范围:75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜(带孔径光栏, 数值孔径1.25)。
调焦机构:粗微同轴调焦,粗动手轮松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值2μm/格。
照  明: 上光源(落射照明)12V50W卤素灯,亮度可调。
      下光源(透射照明)12V30W 卤素灯,亮度可调。
  源:输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。
 
仪器维护
 
1.  擦拭机体与载物台面
擦拭前应从主电源插座中拔掉电源插头,确保仪器电源断开。然后用干净柔软的抹布蘸少许中性清洁剂擦拭机体与载物台面。使用仪器前要请确认仪器干燥。
2.  擦拭光学部件
显微镜中的目镜、物镜中的镜片都有镀膜。请不要在非常干燥或大灰尘的环境下擦拭。擦拭时首先把可见的灰尘吹去,然后用棉签或抹镜纸蘸少许镜片清洁剂或*擦拭镜片表面,不可使用如二甲苯之类的溶剂擦拭镜片。
3.  切勿随意拆卸显微镜!
显微镜是精密光学仪器,各零部件切勿随便拆卸,以免损害其操作效能和精度。如有故障应送专业维修部门或与供应商。
4.  不使用仪器时!        
仪器不使用时,用有机玻璃或聚乙烯罩子罩上,并存放在干燥与没有霉菌滋生的地方。物镜和目镜放在有干燥剂的密闭容器中。
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