能量色散X荧光光谱仪技术原理：

受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。

元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定特殊性波长的X射线，根据莫斯莱定律，荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下：

λ=K(Z− s) −2

式中K和S是常数。

而根据量子理论，X射线可以看成由一种量子或光子组成的粒子流，每个光具有的能量为：

E=hν=h C/λ

式中，E为X射线光子的能量，单位为keV；h为普朗克常数；ν为光波的频率；C为光速。

因此,只要测出荧光X射线的波长或者能量,就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。

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能量色散X荧光光谱仪性能：

1.超低能量分辨率，轻元素检测效果更佳
使用大面积铍窗电致冷SDD探测器，探测器分辨率zui低达到139eV，各项指标优于国家标准。SDD探测器具有良好的能量线
性、良好的能量分辨率，及良好的能谱特性，较高的峰背比；对Si、S、AI等轻元素的测试具有良好的分析精度。

2. 测试精度更高，检出限更低
①专业化的样品腔设计，带可调速的自旋样品腔，能有效的测定轻元素和减少样品均一性的影响，提高样品的测试精度。
②采用超小超真空的样品腔设计，保证测试时达到10Pa以下，使设备的测试范围可从F元素起测试，大大地提高测试范围、轻元素检出限和精度。

3. 分析速度更快，从第1秒即可得到定性定量结果
采用自主研发的数字多道技术，其zui大线性计数率可达100kcps，可以更加快速的分析，从第1秒就可以得出定性定量结果，
设计成高计数率，大大提高了设备的稳定性。

4. 一键式智能化操作
专业软件，先进的FP法和EC法等多种方法嵌入的人性化的应用软件，具有高灵敏度、测试时间短、一键智能化操作，使操作简易，对操作人员限制小的特点。

5. 强大的自动化功能
①自动化程度高，具有自动开盖、自动切换准直器与滤光片等功能。
②采用自动稳谱装置，保证了仪器工作的*性：利用解谱技术使谱峰分解，采用多参数的线性回归方法，使元素间的吸收、排斥效应得到明显的降低。

6. 强度校正法
具有多种测试模式设置和无限数目模式的自由添加，内置强度校正方法，可校正几何状态不同和结构密度不均匀的样品造成的偏差。

7. 完善的光路系统
自主研发的光路系统，光程更短，光路损失更少，激发效果更佳。

8. 三重安全防护功能
三重安全防护功能，自动感应，没有样品时仪器不工作，无射线泄漏；加厚防护测试壁；配送测试防护安全罩。

9. 安全警示系统
警告指示系统，通电时绿色指示灯亮，测试时黄色辐射指示灯闪烁，防止误操作。

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能量色散X荧光光谱仪优点：

a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

b) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。

c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

d) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

e) 分析精密度高。

f) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

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