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MF-U
176 系列 — 高倍率多功能测量显微镜
偏光观察：
观察过滤后只有一个方向振动的光。用于观察具有特
殊光学特性的材料，如矿石和液晶。
微分干涉对比观察：
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和台阶时
十很有效。
暗视场观察：
挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比
度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
亮视场观察：
zui普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。
特点
? 亮视场、大视野观察可得到清晰、无闪
烁的正像。
? 使用长工作距离的目镜，放大倍率可达
20X (总倍率：4000X)。
? 和高级检测显微镜一样采用校正光学系
统(FS 系列)。
? 亮／暗视场观察，偏光观察和微
分头干涉对比 (DIC) 观察。
? 使用立柱两侧的微调／粗调旋钮
进行调焦和测量。
? 调零开关 (X 轴和 Y 轴) 也位于操作台手柄
的附近。
? 带有镜头旋转盘。
? 增强型目镜可有效缓解眼睛疲劳。
技术参数
观察图像 : 正像
光管 : Siedentoph 型 (可调瞳距：51 -
76mm), 1X 光管镜头、
双目目镜 ( 俯角：30o),
十字投影法、带有TV 插板、
光通比、(目镜 /TV 插板：50/50)
目镜 : 10X (视场直径：24mm),
可选 : 15X, 20X
转盘 (选件): 手动或电动旋转盘
物镜 (选件): 从 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物镜
(详见 384 页)
轮廓照明
? 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W)
? 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统
? 功能 : 光强度可调、无级亮度调整
表面照明
? 光源 : 卤素灯泡照明选件(光纤冷光照明)
? 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统
? 功能 : 光强度可调、无级亮度调整
显示装置 :
? 轴数 : 2 轴或 3 轴
? 分辨率 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能 : 调零、方向转换、
数据输出 (通过 RS-232C 接口)
电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
505B: 50 x 50mm
XY 工作台选择(行程范围)
1010B: 100 x 100mm
2010B: 200 x 100mm
2017B: 200 x 170mm
4020B: 400 x 200mm
MF-UB3017B
XY 工作台移动范围：300 x 170mm
(带有可选旋转盘、目镜和光纤照明)369
选件
378-857: 15X 目镜套装 (视场范围：16mm)
378-858: 20X 目镜套装 (视场范围：12mm)
––––––: 物镜 (详见 384 页)
378-018: 手动 BF 旋转盘
378-116: 电动 BF 旋转盘
176-211: 手动 BF/DF 旋转盘
378-210: 电动 BF/DF 旋转盘
––––––: 分划板 (详见 366 页)
178-092: 偏振器
378-076: 用于 100X, SL80X, SL50X 目镜的微分干涉
对比装置
378-078: 用于50X, SL20X 目镜的微分干涉对比装置
378-079: 用于 20X 目镜的微分干涉对比装置
378-080: 用于 10X, 5X 目镜的微分干涉对比装置
12AAA643: ND2 型彩色滤光片
12AAA644: ND8 型彩色滤光片
12AAA645: GIF 型滤光片
12AAA646: LB80 型彩色滤光片
375-054: 0.5X 相机转向镜 (带有 C-mount 适配器)
970441: C-mount 适配器
513667: 卤素灯泡 (24V, 50W)
12BAB345: 卤素灯泡 (长寿型、24V, 50W)
517181: 卤素灯泡 (24V, 100W)
12BAD602: 卤素灯泡 (高亮度型、24V, 100W)
176-308: 防振台架
176-309: 安装台架
375-056: 读数尺
12AAA165: 镜头清洗工具
12AAA846: 脚踏开关
照明元件 (详见 373 页)
176-315: 卤素照明装置 (12V, 100W)
176-316: 卤素照明装置 (12V, 150W)
176-343: 双光纤照明装置
12AAG806: GIF 型彩色滤光片 (用于 176-315)
12AAG807: LB80 型彩色滤光片 (用于 176-315)
固定和工作台附件 (详见 363 页)
176-107: 带有夹钳的支架 *
172-378: 带有夹钳的 V 型块 *
(zui大工件直径：25mm)
172-197: 用于 TM-510 的旋转式中心架 *
(zui大工件直径：80mm)
176-305: 带有微调旋钮的旋转工作台，适用于
505B/1010B/1020B 型号
176-306: 带有微调旋钮的旋转工作台，适用于
1720B/1730B 型号
*1020B 型号需要与固定适配器(176-310) 配合使用
1720B/1730B 型号需要与固定适配器(176-304) 配合使用
QM-Data200
2D 数据处理器
(详见374 页)
12AAA807: 连接电缆套装
Focus pilot FP-05
辅助聚焦系统
(详见372 页)
Vision Unit
基于PC 的视像测量系统
(详见376 页)
设备选型
单位：mm
尺寸
性能参数
型号 (XY 工作台尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
货号 MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
XY 工作台移动范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦 (粗调焦：10mm/rev、微调焦：0.1mm/rev)
测量方法 线性编码器 (2 轴型：X / Y 轴、3 轴型：X / Y / Z 轴)
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度 (20oC 时) XY 轴：(2.5+0.02L)μm, L 无负载测量长度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 时) Z 轴：(5+0.04L)μm, L 为测量长度 (mm)
浮动功能 带有快速断开功能的 X 和 Y 轴
XY 工作台台面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能 — — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
zui大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
zui大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀(如：176-567A):
A 适于UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国、K 适于 EK，无后缀适于JIS/100V
设备型号 MF-UA 型 MF-UB 型 MF-UC 型 MF-UD 型
观察类型 亮视场 (BF) 亮视场 (BF) 亮／暗视场 (BF/DF) 亮／暗视场 (BF/DF)
测量系统 X 和 Y 轴 (2 轴) X, Y 和 Z 轴 (3 轴) X 和 Y 轴 (2 轴) X, Y 和 Z 轴 (3 轴) |
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