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PS80 汉钟真空泵

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2018-05-15深圳市
型号
PS80
深圳市信仕德科技有限公司

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产品简介
汉钟干式真空泵
包括中国台湾汉钟干式螺杆式真空泵和中国台湾汉钟干式多级罗茨真空泵
PDR系列
包括机型 汉钟真空泵 PDR100 , PDR602, 汉钟 真空泵 PDR1202
上海汉钟干式真空泵 PS系列
包括机型 PS80 ,PS160, PS180, PS602, PS1302
详细信息

汉钟干式真空泵
包括中国台湾汉钟干式螺杆式真空泵和中国台湾汉钟干式多级罗茨真空泵
PDR系列
包括机型 汉钟真空泵 PDR100 , 汉钟真空泵 PDR602, 汉钟 真空泵 PDR1202
上海汉钟干式真空泵 PS系列 
包括机型  PS80 ,PS160, PS180, PS602, PS1302
 
中国台湾PS系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果,*压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

泵浦温度控制精准 
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。 

密封马达安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可*避免制程气体外漏的风险。

微电脑控制保护周全 
PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求*之产业。

PZt系列双级旋片泵
*的技术
1.两档可调气镇,更方便不同工艺对蒸汽排出量的要求。
2.强制润滑,内置齿轮泵及恒压供油机构强制供油,高吸气压强下也能提高稳定可靠运行。
3.双重防返没油结构,自动防返油结构设计,更可靠地保护您的真空系统在停机后免受油的污染。
4.整体式泵体,零部件量少,重复性好,便于维修及保养。

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