主要特征l 采用L型移动桥式，由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，运动部件采用高硬度轻质铝合金材料l X轴和Z轴均采用超精加工及经过硬质阳极化处理的挤压轻质铝合金l Y轴采用一体化槽型花岗岩导轨l Z轴采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性l 各运动轴均采用高性能直流伺服测速机组和单级多楔带减速系统l 三轴采用预载荷空气轴承，运动更平衡，导轨*受磨损l 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，分辨率高达0.039vml 测量机三轴及工件都配置温度传感器，实时监控温度变化机器型号

Function plus10158 Function plus  10218 Function plus  10308 Function plus  122110 Function plus123010 Function plus  152110 Function plus   153010 Function plus  152112 Function plus153012行程（mm）X100010001000120012001500150015001500Y150021003000210030002100300021003000Z800800800100010001000100012001200测量空间（mm）Dx136413641364156415641864186418641864Dz151151151151151151151151151Dz1951951951115111511151115113511351平台（mm）Ph400400400400400400400400400Py200026003500260035002600350026003500支撑（mm）Sy1400400400400400400400400400Sy2120018002700180027001800270018002700Sx130013001300150015001800180018001800外形尺寸（mm）L272633264226332642263326422633264226W178017801780198019802280228022802280H342234223422362236223622362238223822承重（kg）130018002000300035003000350030003500机器重量（kg）550065009500760011000860013000880013200MPEe(μm)3.1+L/3003.5+L/3004.0+L/3005.0+L/300MPEp(μm)3.33.74.25.2光栅尺分辨率(μm)0.078空间移动速度(mm/s)433空间移动加速度(mm/s2)1039流量/供气压力2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa注：工作环境为温度（20±2）℃, 湿度为45%-75%