产品介绍：

• 反应舱：
      材料：铝
      有效尺寸：直径230 x 深度250mm
      容积：10.4升
      舱门：装有可视窗口
      托盘：订制

• 真空度测量：
      皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关）
• 真空泵：
     二级旋片式真空泵；3m³ 每小时。
• 频射发生器：
      0~600w可调，2.45GHZ发生器
• 控制系统：
      触摸屏操作，PLC控制系统
      PLC可实现下列功能：
           1、自动控制反应过程；
         2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程；
         3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
         4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内；
         5、 设定操作、维护密码。
• 电源：
       220V AC、50Hz、16A.
• 反应气体：
      一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩展
• 气体输入：
      直径1/4英寸（0.645厘米）管道；输入压力：1Bar. 
• 安全性能：
      急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。

 用途：

小型物件的活化、清洗、蚀刻等。

可选件：

• 频射发生器：100KHZ, 13.56MHZ ，可订制
• 可加装15m³每小时的真空泵
• 根据需要，可订制多个气体输入管道
• 根据客户工艺要求制作的软件程序
• 根据客户要求制作的托盘。
• 石英反应舱 
• N₂ Purge.