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EXT255DX EDWARDS复合涡轮分子泵
具体成交价以合同协议为准
2024-11-18深圳市
- 型号
- EXT255DX
产品简介
EXT255DX Edwards EXT复合涡轮分子泵适用于除zui苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
详细信息
EXT255DX Edwards EXT复合涡轮分子泵
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
*并口，用于传统控制信号接口
* 串口，用于RS-232接口。
通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。
* 放气阀控制设置。
* 正常泵速显示。
* 准备转速显示。
* 功耗。
* 泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
EXT255DX Edwards EXT复合涡轮分子泵
技术数据
前级泵也可以使用抽速更大的旋片泵，还可使用极限真空小于5mbar的隔膜泵。
* 超出该入口压力时，转速为额定转速。
** 此时功率160W。
*** 没安装入口筛网。安装筛网时，泵速下降约10%。
前级泵为两级旋片泵，并烘烤48小时。
Pb<5 mbar（500 Pa）并烘烤48小时。
安装尺寸
A 放气口的手动放气阀
B 电连接盒
C 逻辑接头
D 前级泵接口
E 吹扫净化口（空白）
F 插座
G 地线连接
EXT255DX涡轮分子泵特性曲线
订货信息
描述 | 货号 |
EXT2555DX ISO100 | B753-11-000 |
EXT255DX CF100 | B753-12-000 |
EXT2555iDX ISO100 级间法兰DN25NW | B753-13-000 |
TIC 涡轮控制器 200W RS232 | D397-12-000 |
TIC 涡轮仪表控制器 200W RS232 | D397-22-000 |
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