TL1200-Mini-C 单温区CVD系统

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200-Mini管式炉+真空系统组成

      TL1200系列管式炉

这款管式炉以瑞典康泰尔电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30 段程序控 温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝 多晶纤维材料，炉膛分为上下两个半圆，需要急 速冷却或换管子时，可以打开炉膛，双层炉壳间 配有风冷系统，能快速升降温，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿 企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD 实验、真空退火用的理想产品。
组件配置：

一、控温仪表：采用宇电程序控温仪表
1、30段程序控温智能PID调节。
2、具有过温保护、断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路会自动切断，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。
3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）
4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5、仪表具有温度自整定的功能。

二、开盖保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。
三、炉膛材料：采用多晶莫来纤维炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。
四、加热元件：采用世界上加热元件 瑞典Kanthal A1电阻丝， 温场均衡、使用寿命长。

五、漏电保护功能： 该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。
六、控制系统：1、电器：正泰。   2、可控硅：德国西门空106/16E。   3 触发器：移相触发。
七、气路系统： 快速拆卸连接法兰结构；密封法兰采用双环密封技术；真空度：≤2X10-2Pa（配套高真空系统）。在双环O型密封圈中有一个不锈钢O型圈进行挤压密封、拆卸方便、可重复拆卸，气密性好、可保证冷态时12小时压力表指针不偏转。

八、不锈钢支撑架：两端配套不锈钢气路支架，支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力，杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。

各种规格尺寸：

VS-0.1低真空系统

产品描述：

该系统是一款低真空机组，可以使管式炉炉管内的真空度达到1Pa以下，该系统由法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、波纹管、支架、真空泵等组成，在法兰出气嘴处接有四通管，四通管分别接电阻硅，高真空挡板阀、阀门和法兰，用Dia25的波纹把真空挡板阀和真空泵连接起来，连接口用KF25快捷卡箍。

技术参数：

1.真空泵型号 ：FX-16                   2.真空泵抽速：16（4）m3/h(L/s)

3.真空泵极限压强（Pa)：≤4X10-2          4.高真空挡板阀：KF25

5.波纹管：KF25X1000                   6.真空计VRD-I：规管型号：ZJ-53B/ZJ-54D短丝热偶规

7.电源：220V电压   0.8KW功率           8.真空泵的出气口和抽气口均为：KF25

9.挡板阀：高真空专用不锈钢阀门          10.连接口：两个KF25接口       

系统】多路质量流量计控制供气系统

产品描述：

该系统是一款可以控制多种气体按不同流量进行混合配比的供气系统，气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质量流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口。混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质量流量计显示板安装在同一面板上，每一条气体管路均有一个高压截止阀。各通道气体流量设定和状态显示都集中在PLC触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。

技术参数：

气路通道：多通道（可根据客户需要确定）      2.气体类型：客户可以根据自己的要求任意选择气体。

3.流量计标准量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意选择量程)

4.工作电压：220V 50HZ            5.工作温度：5-45℃          6.工作压差：0.1~0.5MPa

7.压力：3MPa                 8.准确度：±1.0%F.S.        9.质量流量计相应时间：1S

10.测量范围：0.1MPa-0.15MPa      11.混气罐：304不锈钢        12.进出气接口：采用Φ6不锈钢卡套接头

13.管道：内部管道为6mm不锈钢管 外部管道为6mm聚四氟管       14.尺寸：650X650X650mm

15.控制面板：每路气路设定和查看都集中在PLC触摸屏上可通过PLC设定每个通道的气体流量，实时查看各通道的流量曲线和设定数据