EST-L5HR-L主动隔振装置KURAKA仓敷化工

EST-L5HR-L主动隔振装置KURAKA仓敷化工

主动隔振装置LH型，EST-L5HR-L，EST-L5HR-M，EST-L5HR-H，EST-L6HF-L，EST-L6HF-M，EST-L6HF-H，EST-L6HKP-200L，EST-L6HKP-200M，EST-L6HKP-200H，EST-L8HKP-200，AMB，EST-A6，EST-A8，EST-A11，EST-B11，EST-B11W，EST-B14，BST-B14W，EST-B14WLI，EST-B14W2LI

产品介绍

主动隔振装置LH型

控制方法，优异的隔振、阻尼性能直线电机型可减少空气消耗并提供出色的隔振性能。

可以控制高达高频范围。内置万向节活塞提供出色的隔振性能。

性能/特点

圆顶万向节活塞和螺旋弹簧的混合结构。

实现了占地面积小。

适合高重心设备。

主动隔振装置【直线电机控制】LHKP型

支持半导体制造设备和检查设备的生产率提高主动隔振台有两种流行的类型：直线电机控制型和气动控制型。

减振线性主动隔振台追求两全其美。

性能/特点

它几乎不消耗空气。

它还可以与小型压缩机一起使用。

使用高推力直线电机作为执行器。

LH型具有优异的隔振性能，现在可用于减振目的。

配备MFF（运动前馈控制）。

通过预先输入平台运动信息，可以提高减振性能。

主动隔振装置[气动控制]B型

支持高负载并提供高减振性能主动控制提供出色的减振性能。

通过安装机制实现了较小的占地面积。

性能/特点

高负载用、振动抑制型

通过在多级结构中布置垂直空气弹簧，实现了较小的占地面积。

此外，通过尽可能减小空气弹簧的气室，提高了减振性能。