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参考价:

起订量:

  • 4600
  • ≥10只
mfc330 微小气体流量控制器

具体成交价以合同协议为准

2024-10-15苏州市
型号
mfc330
参数
品牌:爱拓利 产地:国产 加工定制:否 质保:1年
苏州爱拓利电子设备有限公司

免费会员 生产厂家

该企业相似产品
气体流量计,气体质量流量控制器,MFC300,MFC330
产品简介
MFC330 热式气体质量流量计/控制器
MFM / MFC330 系列气体质量流量计/控制器, 其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330依然能够保持稳定的流量控制。
详细信息

MFC330 热式气体质量流量计/控制器

MFM / MFC330 系列气体质量流量计/控制器, 其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入通过传感器和旁路分流系统由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330依然能够保持稳定的流量控制。

主要参数 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

介质要求 Applicable media

洁净干燥气体 Clean, dry gases

气体种类 Gas type

98+气体可选 Available for 98+ types of gas

量程 Full Scale(N2 equivalent)

0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

测量范围measurement range

0.5%F.S. (1:200)

控制范围 Control range

1% - 1   00% F.S. (1:100)

准确度 Accuracy

标准 Standard±1% F.S.   高精度High Performance±0.5%

重复精度Repeatability

±0.2% F.S.

线性度Linearity

±0.2% F.S.

控制响应时间 Settling time (in control)

<3秒  

预热时间 Warm-up time

5 min (T95), 30分钟  30min for optimum accuracy

阀门Valve function

常闭式 Normally Closed

泄露率 Leak integrity

1*10-8 Pa·m3/sec He

 

机械特性 MECHANICAL

工作压力 Maximum pressure

3 MPa (30bar

工作压差范围 Operating differential pressure

0 ~ 1 MPa

工作温度范围Operating temperature range

-20 ~ 65℃ (环境和气体 ambient and gas)

湿度范围 Relative humidity range

0 ~ 98% 无凝露 No-condensing

气路接头类型Process connections

卡套,、VCR、快插、快拧 (可选)

(Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

气体接触材质Material

氟橡胶、304/316不锈钢 (FKM, 300-series Stainless steel)

密封材质Seals

氟橡胶 FKM

防护等级 Ingress protection (housing)

IP40

安装方式 Mounting

水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation

固定孔 Mounting holes

M4   5mm

重量 Weight

0.96 kg

 

电气和通讯 COMMUNICATIONS

电气连接接口类型Electrical connection

DB  9公头 (Male)

模拟信号 Analog input and output options

0  5 VDC, 4  20 mA (可定制)

输入输出阻抗 Impedance resistance

输入阻抗>10MΩ,输出阻抗<1KΩ

模拟数据更新频率Analog data update rate

200Hz

数字信号 Digital input and output options

Modbu RTU (RS232, RS485), CAN

通信速率 Digital data update rate

9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用户可修改

电源 Power requirements

15  40 VDC, <200mA

显示更新频率Display update rate

50Hz

模拟信号精度 Analog signal accuracy

±0.05%F.S.

 

特征 FRATURE

标况 STP reference conditions

20℃, 1 atm

气体选择Gas Select

可选,具体参考说明书气体系数

软件Software

Aitoly分阶流量软件


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企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618

产品参数

品牌 爱拓利
产地 国产
加工定制
质保 1年
提示

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