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SuperViewW1 非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪

具体成交价以合同协议为准

2024-08-12深圳市
型号
SuperViewW1
参数
品牌:中图仪器 产地:国产 加工定制:否
深圳市中图仪器股份有限公司

高级会员4生产厂家

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闪测仪,一键式测量仪,图像尺寸测量仪,机床测头,激光干涉仪,光学3D表面轮廓仪,白光干涉仪,轮廓仪
产品简介
SuperViewW非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能。
详细信息

中图仪器SuperViewW非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪

应用领域

广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪

产品功能

1)样件测量能力:单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;

2)单区域自动测量:单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;

3)多区域自动测量:可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位,一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;

4)自动拼接测量;支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量;

5)编程测量功能:支持测量和分析同界面操作的软件模块,可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动单测量功能,实现一键测量;

6)数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

7)数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;

9)数据报表导出:支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能,支持图像、数值结果的导出;

10)故障排查功能:配置诊断模块,可保存扫描过程中的干涉条纹图像;

11)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;

12)环境噪声评价:具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能,定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率,为设备调试和故障排查提供定量依据;

13)气浮隔振功能:采用气浮式隔振底座,可有效隔离地面传导的振动噪声,确保测量数据的高精度;

14)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;

15)镜头安全功能:双重防撞保护,软件ZSTOP防撞保护,设置后即以当前位置为位移下限位,不再下移且伴有报警声;设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。


产品特点

1、针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪


2、SuperViewW非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪

粗糙度测量应用

非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪

部分技术指标

型号

W1

光源白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场0.98×0.98㎜(10×)


XY位移平台

尺寸
320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式手动和电动兼容型
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
台阶测量
可测样品反射率0.05%~100
主机尺寸700×600×900㎜
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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产品参数

品牌 中图仪器
产地 国产
加工定制
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