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VDM300 LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量计
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2024-05-15深圳市
- 型号
- VDM300
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产品简介
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LAM796-055344-005水蒸汽输送模块brooksinstrument VDM300
Coastal Instruments 成立于1980年，是国内专业的流量计服务商。致力于进口质量流量计、压力传感器等压力测量器件的校准、维修及销售服务。其技术*、高可靠性及诚信使其成为行业的，是专业的MFC技术服务商。
深圳
详细信息
Coastal Instruments 成立于1980年，是国内专业的流量计服务商。致力于进口质量流量计、压力传感器等压力测量器件的校准、维修及销售服务。其技术*、高可靠性及诚信使其成为行业的，是专业的MFC技术服务商。
深圳
LAM796-055344-005
特点
流量范围：3 slpm （去离子水蒸汽）
具有超高流量精度的直接水蒸汽测量
能直接连接到厂房去离子水供应系统
在较低温度下可操作（非过热状态）
冲刷和排水的优化设计
EtherCAT数字通讯
Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面
优势
采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术
适用于各种FAB去离子水供水的压力
接液件耐腐蚀性能增强
确保更清洁的操作
可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口
直接用户界面可增强数据收集或故障排查
应用
硅材料半导体金属刻蚀后段工艺
硅材料半导体金属剥离工艺
在负大气压的环境中超高纯加湿
深圳市天铉真空技术有限公司
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深圳市天铉真空技术有限公司 专门经营进口气体质量流量计销售，全套校准，一年质保期。
本公司专业销售质量流量计近40年，具有丰富的销售和售后服务经验，我们有专业的服务团队和专业工程师对产品进行跟踪服务。
具体产品参数，价格请询价
本公司主要经营的品牌有：
HORIBA
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BROOKS
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MKS
MYKROLIS
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