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采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。主板采用多层布线,具有更好的抗干扰能力,良好的传感器封装,减少外部温度变化的敏感性。测量和控制的量程范围大,.大满量程可达30ln/min.耐腐蚀,耐高压至10MPa.5预热时间短,零漂小,可靠性高。±1.0%F.S的精度、精度高,线性度好
用于对30L内流量气体的质量流量进行精密的测量和控制,具有精度高,稳定性好,数字电路,可靠性高,安装简单,操作方便。
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量控制器LF-N产品参数
产品型号 | LF-A010 | LF-A011 |
满量程范围 | 2SCCM-30SLM | |
量程比 | 控制器50:1 | 流量计100:1 |
精度 | ±1.0%F.S | |
线性 | ±0.5%F.S | |
重复性 | ±0.2%F.S | |
阀门类型 | 常闭阀 | |
响应时间 | ≤1S~3S | |
工作压差 | 0.1...0.5Mpa | |
.大耐压 | 3MPa,可选10Mpa | |
工作环境温度 | 5...45℃ | |
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
通信信号 | RS232/RS485 MODBUS协议 | |
供电方式 | 24VDC(250mA) | |
密封材料 | 丁晴橡胶 氟橡胶 | |
接头尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | |
电器接头 | DB9针 |