科研级扫描电镜采用小型SEM结构设计，适合高校等科研院所SEM图像采集,放大倍率为20-20000X,可在办公室使用。
科研级扫描电镜规格参数
光学系统参数
分辨率：5nm@20KV SE探测器，4nm@30KV SE探测器
放大倍率：10x~200,000x (数字变焦2X, 4X,8X)
加速电压：0.6kv~30kv
电子枪类型：钨丝
图像移动：250um (XY), 360度旋转
探测器： SE探测器
自动功能：自动电子枪准直，自动聚焦，自动对比度亮度，发射电流等
显示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（检查模式）， 图片模式（2048x1536~8192x6144）
图像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移台参数
XYZ位移范围：40,40,40mm
tilt倾斜：0-60度
旋转：360度
类型：手动5轴位移台 （可选3轴电动位移台）
选配真空系统
高真空模式：10^-5 Torr
可选配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等