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Ø 测量原理
本仪器测量原理为直角坐标测量法,即通过X轴、Z1轴传感器,测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点,通过电器组件,将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机,软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理,标注所需的工程测量项目。
Ø 测量功能
轮廓测量功能
尺寸:包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角:包含水平角、垂直角、夹角
位置公差:包含平行度、垂直度
形状公差:包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆
粗糙度测量功能
粗糙度功能:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始轮廓参数:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
Ø 测量范围
项目 | 测量范围 | 分辨率 |
驱动器 | 100mm | 0.2μm |
轮廓传感器 | 25mm | 0.05μm |
粗糙度传感器 | ±420μm | 65536:1 |
立柱 | 320mm | - |
Ø
技术规格
轮廓仪部分技术参数 | 线性精度1 | ±(1.5+|0.2H|)μm |
圆弧2 | ±(2+R/8)μm | |
角度3 | ±2′ | |
直线度4 | 0.8μm/100mm | |
粗糙度部分技术参数 | 线性精度 | ±(7nm+3.5%) |
残值噪声 | ≤0.025μm | |
重复性 | 1δ≤2nm | |
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
评定长度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
Z轴驱动方式 | 电动 | |
X轴驱动速度 | 0.1~10mm/s | |
Z轴驱动速度 | 0.5-10mm/s |
注:1、H为水平位置上的测量高度;2、2mm<R<10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°;3、60°、90°的角度块,角边取样长度为5mm;4、λc为2.5mm,测量速度为≤0.3mm/s;5、2mm<R<10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃,阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得;7、地面震动RMS
<50HZ 2.5μm/s />50HZ 5.0μm/s。