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微波等离子体发生器

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2024-04-02上海
型号
辅光精密仪器(上海)有限公司

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产品简介
这款微波等离子体发生器功率范围在10W和250W之间的特殊2.45GHz发生器
详细信息
这款微波等离子体发生器功率范围在10W和250W之间的特殊2.45GHz发生器。
这些PlasMaster的发生器输出所需的微波功率,并测量未被等离子体射流吸收的功率。两者,点火和操作之间的特殊切换,以及锁定等离子体的能量支持,都受到**保护。除了目前的6个可插入式喷嘴外,这种特殊的发生器还可用于低压室的CC耦合器。
微波等离子体发生器特点
纯半导体技术中的集成测量和控制电子设备,可在十分之一毫秒范围内调整等离子体变量
控制电子设备包括测量等离子体电阻的测量技术
经济高效的技术,免维护,无磨损
紧凑的设计和的触发
集成保护电路,扩展到短路电阻和温度关闭电路
集成显示屏上显示四个变量:
工作频率
发射的微波功率
等离子体射流反射的微波功率
等离子体射流吸收的微波功率。
除了操作元件和状态LED,发生器还具有用于自动开启和关闭等离子体的触发输入。
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