电动可变泄漏阀（微小流量调节阀）——用于超高真空度控制

Electric Variable Leakage Valve (Micro-Flow Control Valve)

一、简介

VLV2023系列可变泄漏阀是上海依阳公司新推出的一系列电控可变泄漏阀，可以连接到任何真空系统中，以建立可调节的泄漏和微小流量进气，特别适合高真空和超高真空环境下的微流量进气调节和超高真空度的准确控制。它提供了的控制灵敏度和稳定性，泄漏率低至1×10^-10TorrL/s。泄漏率或流量调节由0~10V模拟信号控制，可代替安捷伦公司和VAT公司的手动/自动可变泄漏阀产品。

可变泄漏阀的功能是在超低漏率条件下进行微小流量的精密调节，可通过两种技术手段实现此功能：一是改变超低漏率阀门的开度大小，以控制流经气体的流量；二是改变超低漏率阀门的进气压力大小，以改变流经气体的流速。目前国外可变泄漏阀采用的都是调节开度法，而VLV2023系列可变泄漏阀采用的则是调节压力法。调节开度法属于一种纯机械传动机构，对可变泄漏阀门的加工制造、材质和磨损性能有着非常苛刻的要求，且运行速度较低和价格昂贵。而调节压力法则属于一种微机电机构，无摩擦部件，大幅降低了制造难度和成本。

二、技术指标

（1）最小泄漏率：1×10^-10TorrL/s。
（2）泄漏变化率：随着进口气体压力的增加，提供增加的变化率，从而提供成比例的精确控制。
（3）真空范围：从大气压到低于10-11Torr。
（4）温度范围：连接处位置高达450℃。
（5）入口气体压力：1000psi（7MPa）。
（6）控制信号：0~10DVC。

（7）电源：24DVC。
（8）材质：304不锈钢。
（9）重量：0.43kg。

三、尺寸和接线

四、典型应用

（1）超高真空度调节用安捷伦和VAT电动可变泄漏阀的国产化替代

（2）采用氦质谱检漏仪测量MEMS密封件漏率和内部真空度的解决方案

（3）国产ChatGPT文心一言在超高真空度控制装置研发中的应用探索

（4）皮拉尼计和电离规信号线性化处理技术在超高真空度精密控制中的应用

（5）真空度控制技术关键部件的国产化替代现状

（6）低温结霜可视化实验装置的真空压力精密控制技改方案

（7）环境可控原子力显微镜实现超高真空到常压的可变压力控制解决方案

（8）超高真空变温台的真空压力和气氛精密控制解决方案