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LuphoScan高速光学非球面3D测量系统
LuphoScan 260/420 HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域,能够测量物件角度大至90°度,测量精度高于±50 nm (3σ) 。测量结果有着的重复性且低噪音。
可测量坡度的表面、具有不同间距方向的表面、极小的表面例如手机镜头模具。快速的、值得信赖的非球面表面非接触式三维形状测量。
物件坡度高至90°度,是测量大的、陡峭的和极小的非球面镜头(如手机镜头模具)的理想选择。
Power和PV测定参数的稳定性。