续测试是否存在等离子体。在这种情况下 ,如图所示没有点火(1)。
●电源将功率增加到可以触发次点火的(可设置)值(2).
●在次点火(形成自由载电荷载体,并产生等离子体)后,GNT算法立即 逐步降低功率,直到等离子体不再被检测到(3)
●增加功率以重新点燃等离子体(4)
●只要等离子体仍然“可见”,功率就会逐步降低(5)
●等离子体存在的功率水平作为测量值并被存储,测试停止(6)
●整个测试周期持续时间不到200毫秒
测试原理的条件和限制 测量原理依赖于内部压力和维持等离子体所需的能量水平之间的关系。空气的测量 真空范围在20ubar和150mbar之间。
该上限由电场强度(等离子体发生器的输出功率)定义,这可以在小容器内实 现,而不会引起任何闪络.
由于工作原理,在大约0.8 mbar,关系出现逆转,如所谓的“帕申”曲线所示。这导致了 在将能量水平转化为压力时的歧义。PG 2306EP始终指的是的较高值(在曲线中时) ,比如:大于100ubar到小于8mBar(输出值如图中蓝线)