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射频发生器是 E 类标准,对稳定性和溅射坑形状都进行了优化以满足实时表面分析。
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射频源可以分析传统和非传统镀层和材料,对于易碎样品,还可以使用脉冲式同步采集优化测试。
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从 110nm到 800nm 同步全光谱覆盖,包括分析 H、O、C、N 和 Cl 的深紫外通道。
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HORIBA 研发的离子刻蚀型全息光栅具有高的光通量和光谱分辨率,光学效率和灵敏度都表现优良。
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HDD 探测器兼具检测速度和灵敏度。
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内置的微分干涉仪DIP可实时测量溅射坑深度和剥蚀速率。
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宽敞简洁的大样品仓易于装卸样品,操作简单。
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QUANTUM™ 软件配置了Tabler 报告编写工具。
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激光中心定位装置(号:Fr0107986/国际种类:G01N 21/67)可定位样品测试位置。
HORIBA 的辉光放电光谱仪可以选配单色仪,实现n+1元素通道的同时也提高了设备的灵活性。