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A100型氦质谱检漏仪广泛应用于科研院所、航空航天、动力锂电池,阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。
功能描述
支持正压检漏,负压检漏
自动跟踪本底,提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底
机器**的性能支持7*24小时长时间在线测试
机器**的性能支持几秒一次的高频率测试
配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤
双铱丝离子源,有效的系统设计,防大气冲击
支持定制检漏工作台,更加便捷使用
技术参数
小可检漏率(负压模式) 5×10-13Pa·m3/s
小可检漏率(正压模式) 1×10-8Pa·m3/s
检漏口压强 粗检 1500Pa
中检 200Pa
精检 40Pa
响应时间 <1s
启动时间 ≤3min
前级油泵抽速 16m3/h
外形尺寸(W×D×H) 845×465×988
重量 80Kg
常见泄漏率
水每秒漏一滴水 | 10-2Pa.m3/s |
车胎打气在水中冒泡 | 10-3Pa.m3/s |
头发丝夹在密封圈与法兰之间 | 10-3Pa.m3/s-10-4Pa.m3/s |
半年内汽车轮胎压力 从0.23Mpa降到0.19Mpa | 10-6Pa.m3/s |
空调连续工作一年,泄漏1克冷媒 | 10-7Pa.m3/s |
检漏方法示意图
结构图