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GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

具体成交价以合同协议为准

2023-07-29
型号
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产品简介
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300Å,特别适用于SEM样品的镀膜
详细信息
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300Å,特别适用于SEM样品的镀膜。
功能特点
  • 设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
  • 通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得镀膜效果。
  • 钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
  • 陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
  • 根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
  • 已通过CE认证。
技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)
工作台 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通风装置 不需要
电源 220V
总功率 <2000W(包括真空泵)
真空室 Ø160mm×120mm
样品台 Ø50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜
均匀镀膜 Ø45mm
尺寸 400mm×300mm×400mm
重量 30kg
可选配件 金、铟、银、铂等各种靶材
标准配件 1 金靶材 1个
2 进气针阀 1个
3 保险丝 2个
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