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Diener 等离子表面处理仪 Tetra100
具体成交价以合同协议为准
2023-07-27
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产品简介
技术应用链接:特点：便捷的触摸屏操作界面数字及图标多重工艺参数实时显示方式异常报警功能自动/手动操作模式可切换储存多套工艺程序远程操控
详细信息
技术应用链接:
特点：
·便捷的触摸屏操作界面
·数字及图标多重工艺参数实时显示方式
·异常报警功能
·自动/手动操作模式可切换
·储存多套工艺程序
·远程操控，数据导出
·模块多样化选择，多层托盘可选，处理量大
技术规格：
| 型号 | Tetra 100 | ||
| 控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
| BASIC PC | FULL PC | ||
| 操作系统 | Windows CE | Windows 10 | |
| 触摸屏 | 3.5/7” | 7/15” | |
| 工艺气体 | O2 Ar N2 Air SF6 CF4等 | ||
| 工艺气路 | 1-3路（可选） | 1-10路（可选） | |
| 流量计 | MFC /防腐型MFC | ||
| 真空腔体 | 不锈钢W400xD625xH400/100L 铝合金W400xD625xH400/100L | ||
| 电极 | 材质 | 铝/不锈钢电极 | |
| 层数（可选） | 1-10（可选） 1-2层 1-5层 | ||
| 发生器
| 40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W | ||
| 真空压力计（mba) | 皮拉尼传感器（0-9.99) | ||
| 托盘 | 不锈钢/铝 | 实板/镂空 | |
| 层数 | 1-10（可选） | ||
| 外形尺寸WDH（mm) | 600x850x1700(2100) | ||
| 电源 | AC400 V / 16 A | ||
| 真空泵抽气速度 | 根据工艺选择 | ||
| 选配件 | 单体导入模块、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、RIE电极（刻蚀）、石英舟、干泵 | ||
关键词:
Diener
等离子表面处理仪
Tetra100
