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新款智能型等离子体增强化学气相沉积系统 PECVD-500A
具体成交价以合同协议为准
2023-07-17合肥市
- 型号
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智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清洗设备、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉
产品简介
新款智能型等离子体增强化学气相沉积系统 PECVD-500A
详细信息
技术参数
加热系统
| 温度 | 1200℃（1 hour) |
| 使用温度 | ≤1100℃ |
| 炉膛有效尺寸 | Φ100*1650mm（管径可选） |
| 炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
| 热电偶类型 | K型热电偶 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定， ‚操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序， ƒ可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制 |
| 加热长度 | 440mm |
| 恒温长度 | 200mm |
| 加热原件 | 电阻丝 |
| 供电电源 | 单相，220V，50Hz |
| 额定功率 | 3KW |
PE射频电源
| 信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率输出范围 | 500W（功率可选） |
| 射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率稳定度 | ±0.1% |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
| 整机效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷却方式 | 强制风 |
三路质子流量控制系统
| 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
| 标准量程（N2) | 100sccm，100sccm、200sccm；200sccm （可根据用户要求定制） |
| 准确度 | ±1.5% |
| 线性 | ±0.5～1.5% |
| 重复精度 | ±0.2% |
| 响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
| 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
| 压力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 显示 | 4位数字显示 |
| 工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
| 压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止阀 | Φ6 |
| 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
低真空机组VAU-02
| 空气相对湿度 | ≤85% |
| 工作环境 | 5℃～40℃ |
| 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1千瓦 |
| 抽气速率 | 10m³/h（抽速可选） |
| 极限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐压值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1.1L |
| 进气口口径 | KF25 |
| 排气口口径 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
| 电阻真空计参数： | |
| 配用规管： | ZJ-52T电阻规， |
| 测量范围： | 10 5 ～10 -1 Pa， |
| 测量路数： | 1路 |
| 控制范围： | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， |
| 控制方式： | 继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
| 电源： | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， |
| 功耗： | 20W |
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