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MX6R晶元半导体检查显微镜

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2023-07-05上海
型号
上海思长约光学仪器有限公司

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显微镜
产品简介
MX6R各项操作根据人机工程学设计,限度减轻操作者的使用疲劳
详细信息


MX6R晶元半导体检查显微镜

MX6R各项操作根据人机工程学设计,限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。

宽视场铰链式三目观察筒
正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。


大行程移动平台设计
采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。


高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。


安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。

技术规格:

型号

MX6R

MX6RT

可选择的观察方法

明场/暗场/偏振光/DIC

明场/暗场/偏振光/DIC/透射光

光学系统

无限远色差校正光学系统

目镜

PL10X/22平场高眼点目镜

物镜

LMPL-BD无限远长工作距明暗场金相物镜

观察筒

正像观察筒,25°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或0:100

转换器

5孔内倾式明暗场转换器,带DIC插槽

5孔内倾式明暗场转换器

载物台

6”三层机械移动平台,行程158x 158mm,玻璃工作台,右手位X、Y移动手轮,带离合器手柄,可快速移动

6”三层机械移动平台,反射行程158x 158mm,透射行程:100x100mm,玻璃工作台,右手位X、Y移动手轮,带离合器手柄,可快速移动

显微镜镜体

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,双路电源输出

反射照明器系统

带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆,12V100W卤素灯,光强连续可调

透射照明系统

/

单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N..A.0.5聚光镜,带可变孔径光阑


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