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参考价:
具体成交价以合同协议为准
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仪器名称: | 台阶仪,膜厚仪,探针接触式轮廓仪,3D轮廓仪 | 型号 | 美国KLA-Tencor D-120 |
检测项目: | 1、薄膜、涂层厚度测量; 2、表面粗糙度+三维形貌; 3、表面粗糙度测量; 4、三坐标测量+三维形貌测量; 5、2D薄膜应力测量; 6、2D弯曲度和形状测量。 | ||
仪器性能: | 扫描长度:≤30mm; 垂直测量范围(台阶高度):≤1.9mm; 扫描速度:2μm/s到200μm/s; 垂直范围分辨率:2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm; 重复精度:0.6nm或0.1%台阶高度 样品厚度:≤20mm; | ||
应用范围: | 可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面二维形貌测量。垂直分辨率1A;垂直范围0-1mm;单次扫描长度范围小于55mm。 | ||
制样要求: | 长宽小于30mm,厚度小于20mm, |
PS:送样请附带“委托测试单”。
测试提示:
1.可开正规测试发票,附带测试清单。
2.有腐蚀性,毒性,或其他有危害性等特殊样品要事先告知测试人员,测试人员也要告知样品方哪些样品不能测或会对仪器产生损伤,测试后会对样品产生哪些变化;
3.客户需提供详细的样品资料,包括元素,主要成分和详细测试参数及条件。和测试人员充分讨论,商定最终测试条件;
4.测试人员与顾客通过或邮件沟通,出现测试纠纷,邮件或记录将作为重要的仲裁依据;请加和技术人员交流:。
5.杜绝测试、解析和合成违反国家相关法律法规的样品,一经发现将追究其法律责任。