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台阶仪,膜厚仪,探针接触式轮廓仪,3D轮廓仪

具体成交价以合同协议为准

2023-06-29
型号
该企业相似产品
穆斯堡尔光谱仪
产品简介
仪器名称:台阶仪,膜厚仪,探针接触式轮廓仪,3D轮廓仪型号美国KLA-TencorD-120检测项目:1、薄膜、涂层厚度测量;2、表面粗糙度+三维形貌;3、表面粗糙度测量;4、三坐标测量+三维形貌测量;5、2D薄膜应力测量;6、2D弯曲度和形状测量
详细信息



仪器名称:
台阶仪膜厚仪探针接触式轮廓仪,3D轮廓仪
型号
美国KLA-Tencor D-120
检测项目:
1、薄膜、涂层厚度测量;
2、表面粗糙度+三维形貌;
3、表面粗糙度测量;
4、三坐标测量+三维形貌测量;
5、2D薄膜应力测量
6、2D弯曲度和形状测量
仪器性能:
扫描长度:≤30mm;
垂直测量范围(台阶高度):≤1.9mm;
扫描速度:2μm/s到200μm/s;
垂直范围分辨率:2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm;
重复精度:0.6nm或0.1%台阶高度
样品厚度:≤20mm;
应用范围:
可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面二维形貌测量。垂直分辨率1A;垂直范围0-1mm;单次扫描长度范围小于55mm。
制样要求
长宽小于30mm,厚度小于20mm,


PS送样请附带委托测试单


测试提示:

1.可开正规测试发票,附带测试清单。

2.有腐蚀性,毒性,或其他有危害性等特殊样品要事先告知测试人员,测试人员也要告知样品方哪些样品不能测或会对仪器产生损伤,测试后会对样品产生哪些变化;

3.客户需提供详细的样品资料,包括元素,主要成分和详细测试参数及条件。和测试人员充分讨论,商定最终测试条件;

4.测试人员与顾客通过或邮件沟通,出现测试纠纷,邮件或记录将作为重要的仲裁依据;请加技术人员交流:

5.杜绝测试、解析和合成违反国家相关法律法规的样品,一经发现将追究其法律责任。


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