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ACCRETECH东京精密Opt-scope测量机
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表面粗糙度/形状测量机Opt-scope,Opt-measure,DISTAX;光轴形状测量机Shaftcom C
表面粗糙度/形状测量机Opt-scope特征:焦距变化测量功能基于全聚焦图像显微镜,这是国际标准ISO 25178-6:2010中定义为三维表面特性的测量方法,包括陡倾角,白光干涉法难以实现,是可以进行毫米级形状测量的选件。通过将此功能与普通白光干涉测量一起使用,单个Opt-scope可以满足更多样化的测量需求。
3D白光干涉显微镜Opt-scope与镜头倍率无关,在垂直方向上具有0.01nm的高分辨率,并且可以用低倍率镜头测量纳米表面特性,因此可以在高倍率下测量大范围一次射击的速度。它以高再现性测量亚纳米表面粗糙度、透明物体和高纵横比结构,这些是激光显微镜和其他非接触测量原理难以测量的。
Opt-measure是一种使用新光源和干涉测量法的非接触式位移传感器。采用新光源和新干涉仪。由于使用来自粗糙表面的散射光进行测量,因此不需要反射镜或角锥。它可以在直接反射中测量。
标准配备16通道传感器。传感器和控制器之间的电缆最长可延长1,000 m。适用于测量实验设备多点位移的目的。
线性度:±1μm和重复性(2σ ):0.1μm是通过采用新的干涉方法来实现的。
温度稳定的光学单元可抑制温度漂移。在20至30°C的现场环境中实现精度。±0.9微米@25 ±5°C。
DISTAX特征:使用DISTAX,通过用光纤连接激光光源和干涉仪,可以调整“干涉仪”和“反射器”的两个位置。除了易于设置之外,良好的操控性也得到了极大的改善。此外,通过使用光纤,干涉仪可以独立于光源移动。
DISTAX用软件自动控制激光射出方向切换、机床工作台、主轴运动。通过与机床 NC 通信,从各轴的测量开始到校正输入和最终检查的过程自动进行。
光轴形状测量机Shaftcom C系列特征:
线扫描相机和7500像素图像传感器提供高速测量和高分辨率。相机还支持IP52防水/防尘标准,并提供内置PC的型号。坚固且耐环境的设计。
Shaftcom轴测量系统可选择配备接触式探头系统。接触式测量可以与光学测量无缝集成,适用于跳动、键槽和孔轮廓测量等应用。这些添加的多个评估项目也可以在一次测量中进行评估,提供了高度的测量灵活性。